有关高效过滤器DOP测量用气溶胶问题探讨
DOP用于HEPA过滤器效率测量，已有近40年历史，近几年来怀疑其所含环苯是致癌物质，现改用DOS DEHS(常用于单分散的)。这些物质对IC及盘片驱动器生产早已认为对产品有害，因此现常用聚苯乙烯乳胶球(SPLs)，粒径在0.1~1μm的单分散系，可方便进行控制。但有研究认为用DOP测试过过滤器释放出的DOP量与大气中含有的DOP量相差不明显。
DOP等用压缩空气把溶液中的液体通过Laskin喷管雾化成多分散系DOP等，粒径在0.1~lμm，t>0.35μm的占90%以上。单分散系DOP，现常用DEHS，加热至一定温度其溶液蒸发然后冷却之，控制冷却温度以控制粒径。采用多分散的DOP测得的过滤器效率要比用单分散的为高，其间现尚无转换关系可循。